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直接热式质量流量计和控制器
 V10FC-R直接热式流量计
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产品简介 |
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 V10FC-R直接热式控制器 |
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产品特点 ● 直接热式原理，无层流元件 ● 无压损,抗结晶,抗腐蚀 ● 适用于各种低压和高压管道 ● 精确测量和控制气体的质量流量 ● 预热时间短,零漂小，可靠性高 ● 多种气体可选,也可自行输入 |
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技术指标
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V10FC-RC质量流量控制器
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V10FC-RM质量流量控制器
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量程范围
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小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～2000SLM
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控制范围
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控制器20：1
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流量计20：1
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准 确 度
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流量：±3%F.S 压力：0.5% F.S 温度：±1℃
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线 性
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±0.5%F.S
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重复精度
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±0.2%F.S
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响应时间
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100ms
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10ms
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数 字 量
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RS232/485，MODBUS协议
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模 拟 量
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0～5V、4～20mA、1～5V
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供电
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12V/24V/±15V可选
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工作温度
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0～50℃
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工作压力
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工作压差：0.03～0.5MPa
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工作压降：<0.01Mpa
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最大耐压
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低压1MPa，中压3MPa，高压10MPa
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电气连接
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DB15孔
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漏 率
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1×10-9SCCSHe
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温度系数
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±0.015%F.S/℃
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底座材质
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316L
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密封材料
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氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
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接 头
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VCR1/4;swagelokφ6
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