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中高压型质量流量计和控制器
V10FC-M/HC型MFC外观图
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产品简介 |
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V10FC-M/HM型MFC外观图 |
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产品特点 ● 通用型,适合10Mpa以下各种气体测量 ● 无热漂移,可以忽略的温移和时漂,长期稳定性0.1%F.S/年 ● 准确度0.8%,量程可在100:1范围内按键设定,无需标定 ● 瞬时和累计流量、压力、温度可同时显示和输出 ● 无需预热,测量时无响应滞后 ● 内置31种气体转换系数,无比热容附加误差,不影响精度 ● 自动累计,分段累计功能 |
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技术指标
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V10FC-M/HC质量流量控制器
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V10FC-M/HC质量流量计
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量程范围
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小量程:5SCCM~10SLM 中量程:10SLM~30SLM 大量程:30SLM~250SLM
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控制范围
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控制器50:1
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流量计100:1
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准 确 度
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流量:±0.8%读数±0.2%满量程
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可选±0.4%读数±0.2%满量程
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压力:0.5%F.S 温度:±1℃
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线 性
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±0.5%F.S
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重复精度
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±0.2%F.S
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响应时间
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100ms
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10ms
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数 字 量
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RS232/485,MODBUS协议
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模 拟 量
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0~5V、4~20mA、1~5V
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供电
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12V/24V/±15V可选
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工作温度
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0~50℃
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工作压力
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工作压差:0.03~0.5MPa
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工作压降:<0.01Mpa
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最大耐压
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中压3MPa,高压10MPa
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电气连接
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DB15孔
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漏 率
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1×10-9SCCSHe
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温度系数
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±0.015%F.S/℃
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底座材质
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316L
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密封材料
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氟橡胶,氯丁橡胶,丁晴橡胶
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接 头
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VCR1/4;swagelokφ6
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