V10FD-L低压型MFC/MFM
● 普通低耐压型,适用于1MPa以下非腐蚀性气体
● 响应速度100ms,无需预热,上电即可操作
● 无热漂移,长期稳定性0.1%F.S/年
● 数模兼容,可使用二次表或计算机控制和显示流量
● 内置阀控指示灯/通讯指示灯/流量指示灯
● 内置4种气体,无比热容附加误差,不影响精度
V10FD-L为模拟和数字兼容型设计:可通过模拟型二次表或PLC
进行设定和显示瞬时流量;也可通过数字接口直接与计算机进行通
讯。具有通用于模拟型控制系统和数字型控制系统的特点。
V10FD-L采用无热漂移,无响应滞后的差压质量流量测量原理。多气
体多量程的设计便于用户现场配置流量计:通过拨码开关可以现场选
择四种测量气体,每种气体有3种校准量程,六个LED指示灯可以
较直观的显示V10FD-L的各种工作状态。如果需要对气体流量进行
控制时,还可以加装电磁比例调节阀和内置PID调节功能。
与传统热式气体质量流量控制器/计不同,当使用气体转换系数时,
V10FD-L没有附加的比热容误差,所以,即使测量气体与出厂时的标定
气体不同,也不会影响测量精度。
产品应用
真空 镀膜 太阳能 半导体 石油石化
煤炭冶金 制气配气 环保 各种分析仪器
技术参数
技术指标 V10FD-LC质量流量控制器V10FD-LM质量流量计
量程范围 小量程:5SCCM~10SLM 中量程:10SLM~30SLM
大量程:30SLM~250SLM
测控范围 控制器阀控范围50:1 流量计量程比100:1
准 确 度 流量:±1.5%读数±0.2%满量程
可选±0.8%读数±0.2%满量程
压力:0.5%F.S 温度:±1℃
线 性 ±0.5%F.S
重复精度 ±0.2%F.S
响应时间 100ms 10ms
数 字 量 RS232/485,MODBUS协议
模 拟 量 0~5V、4~20mA、1~5V
供 电 24V/±15V可选
工作温度 0~50℃
工作压力 工作压差:0.03~0.5MPa 工作压降:<0.01Mpa
最大耐压 1MPa
电气连接 DB15孔
漏 率 1×10-9SCCSHe
温度系数 ±0.015%F.S/℃
底座材质 铝合金或316L不锈钢
密封材料 氟橡胶,氯丁橡胶,丁晴橡胶
接 头 VCR1/4;swagelokφ6