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V10FD-M/H中高压型MFC/MFM

● 通用型,适用于10MPa以下各种气体                                
● 响应速度100ms,无需预热,上电即可操作                                                       V10FD中高压型流量计
● 无热漂移,长期稳定性0.1%F.S/年
● 数模兼容,可使用二次表或计算机控制和显示流量
● 内置阀控指示灯/通讯指示灯/流量指示灯
● 内置4种气体,无比热容附加误差,不影响精度   

    V10FD-M/H采用全不锈钢传感器,适合于测量各种与316

不锈钢兼容的气体。该产品为模拟和数字兼容型设计:可通

过模拟型二次表或PLC进行设定和显示瞬时流量;也可通过

数字接口直接与计算机进行通讯。具有通用于模拟型控制系

统和数字型控制系统的特点。
     V10FD-M/H采用无热漂移,无响应滞后的差压质量流量测

量原理。多气体多量程的设计便于用户现场配置流量计:通        

过拨码开关可以现场选择四种测量气体,每种气体有3种校          

准量程,六个LED指示灯可以较直观的显示V10FD-M/H的

各种工作状态。如果需要对气体流量进行控制时,还可以加装

电磁比例调节阀和内置PID调节功能。                          
      与传统热式气体质量流量控制器/计不同,当使用气体转换系

数时,V10FD-M/H没有附加的比热容误差,所以,即使测量气体与

 

出厂时的标定气体不同,也不会影响测量精度。        

                                                                                                                  

产品应用                                                                                                                              0FD中高压型控制器


真空 半导体 航空航天 工业制造 石油化工
冶金煤炭 环境分析 食品药品 生物科技                                

 V1技术参数

 

技术指标:    V10FD-M/HC质量流量控制器   V10FD-M/HM质量流量计
量程范围:    小量程:5SCCM~10SLM 中量程:10SLM~30SLM 大量程:30SLM~250SLM
测控范围:    控制器阀控范围50:1 流量计量程比100:1
准确度:    流量:±1.5%读数±0.2%满量程
             可选±0.8%读数±0.2%满量程
             压力:0.5%F.S 温度:±1℃
线    性:    ±0.5%F.S
重复精度:    ±0.2%F.S
响应时间:    100ms 10ms
数字量:    RS232/485,MODBUS协议
模拟量:    0~5V、4~20mA、1~5V
供    电:    24V/±15V可选
工作温度:    0~50℃
工作压力:    工作压差:0.03~0.5MPa 工作压降:<0.01Mpa
最大耐压:    中压3MPa,高压10MPa
电气连接:    DB15孔
漏    率:     1×10-9SCCSHe
温度系数:   ±0.015%F.S/℃
底座材质:    316L不锈钢
密封材料:    氟橡胶,氯丁橡胶,丁晴橡胶
接    头:    VCR1/4;swagelokφ6